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现已广泛推行应用的功能性薄膜包括：氮化钛(TiN), 氮化铬(CrN), ROSE, 氮铝钛(TiAlN), 高铝钛(AlTiN), PLUS, 氮碳化钛(TiCN), 氮碳化铬(CrCN)等。
切削刃具如铣刀、钻头、锯片、顶针、丝攻、医疗器材、绞刀等，经真空涂层被覆后，在切削过程中刀刃部分可以承受高达800℃高温仍然保持良好的硬度，同时刃具表面有了更多的磨损容量和更低的摩擦系数，因此可以降低切削受力，提高产品表面质量及精度。经过纳米被涂层覆后不但可以延长刀具的使用寿命，还可以提高切削参数，甚至实现干式切削，除去切削液的使用，保护了环境同时又降低了制造成本。
优点：
大幅提高刀具寿命
更加耐高温，可干式切削
提高切削参数
提高生产效率
被加工产品质量提升
